硅片/單晶硅多晶硅硬度測量——《YZHV-1ZP硅片顯微維氏硬度計(jì)》
光伏行業(yè)，近幾年的發(fā)展還是不錯的，其中硅錠、硅片、太陽能電池片在光伏行業(yè)有著很好的市場前景。單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成，處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等應(yīng)用，因此硅材料加工后物理性能的優(yōu)劣，對產(chǎn)品質(zhì)量是非常重要的，這里上海奕縱精密主要對硅片，單晶硅，多晶硅產(chǎn)品的力學(xué)性能中硅片的硬度如何檢測做一些詳細(xì)介紹和說明。眾所周知，硅片/硅材料硬度的高低，對產(chǎn)品本身的性能至關(guān)重要，單晶硅和多晶硅的硬度介于鍺和石英材料之間，常溫下脆性較大，切割或受外力時(shí)容易破碎或產(chǎn)生裂痕，但其硬度確非常高，一般硅片硬度高達(dá)1200-1400HV左右，因此采用常規(guī)的金屬硬度計(jì)去檢測是不適合的，常規(guī)的檢測方法，比如洛氏，布氏，維氏硬度計(jì)等因?yàn)樵囼?yàn)加載力較大，小的加載里在1kg左右，大的力值高達(dá)幾十至上百公斤不等，這樣會對硅片造成破損或在其表面產(chǎn)生裂紋，也就無法測量硬度了。市場上硅片生產(chǎn)廠家使用最多的是上海奕縱精密儀器有限公司生產(chǎn)的YZHV-1ZP顯微維氏硬度計(jì)測量系統(tǒng)（硅片硬度計(jì)）硬度計(jì)產(chǎn)品鏈接如下：http://kkk753.com/prshow-425.html或YZHV-1ZP型硅片硬度計(jì)很好的解決了以上無法測量的問題，經(jīng)過多位硬度測量專家的無數(shù)次測試和試驗(yàn)，選用50gf~200gf的試驗(yàn)力去測量硅片硬度，可以達(dá)到最佳效果，既不會造成硅片破損也不會產(chǎn)生裂紋，可以無損的測量出其準(zhǔn)確的硬度值。用下圖做一個(gè)演示：
采用YZC4.0顯微圖像測量分析軟件進(jìn)行測量，用戶只需要用鼠標(biāo)在電腦屏幕上點(diǎn)擊幾下就可以迅速的檢測出硅片的硬度值，硬度精度達(dá)到了±3%的準(zhǔn)確度，測試完畢同時(shí)可以通過CCD攝像機(jī)將壓痕圖像拍照存儲和打印出來，自動生成用戶測試報(bào)告。作者：上海奕縱精密儀器有限公司
YZHV-1ZP自動轉(zhuǎn)塔數(shù)顯顯微維氏硬度計(jì)測量系統(tǒng)，是上海奕縱精密儀器有限公司研發(fā)生產(chǎn)的一款高級自動轉(zhuǎn)塔顯微硬度計(jì)系統(tǒng)，本機(jī)配備高清工業(yè)級500萬像素（內(nèi)置式CCD攝像系統(tǒng)）和YZHV專用顯微維氏硬度圖像分析測量控制軟件。硬度計(jì)主機(jī)采用8英寸超大觸摸屏顯示，硬件上采用光學(xué)交叉導(dǎo)軌導(dǎo)向，齒輪齒條二級傳力，可實(shí)現(xiàn)快速平穩(wěn)傳力，使用壽命長久，Z軸采用高傳動比高精密蝸輪蝸桿精密側(cè)搖升降系統(tǒng)。YZHV-1ZP自動轉(zhuǎn)塔顯微維氏硬度計(jì)的產(chǎn)品軟件優(yōu)勢如下：在電腦上可通過鼠標(biāo)控制物鏡和壓頭的自動轉(zhuǎn)換（即鼠標(biāo)控制自動轉(zhuǎn)塔），在電腦上可通過鼠標(biāo)控制試驗(yàn)力的自動切換（即：電動切換試驗(yàn)力，無須手動切換），在電腦上可通過鼠標(biāo)控制光源亮度的自由調(diào)節(jié)（即軟件控制調(diào)光）。本硬度計(jì)適合檢測精密機(jī)械類的零件或材質(zhì)，如硬質(zhì)合金、鋼鐵，碳鋼、不銹鋼，銅鋁，硅片，單晶硅，多晶硅，金屬組織及表面加工層、電鍍層、氮化層、滲碳層，氰化層零件的表層硬度、齒輪，軸承、陶瓷等可對被限定的微小部分進(jìn)行測定，通過專業(yè)的顯微維氏量軟件測量硬度值，無需人工看顯微鏡，直接通過電腦屏幕清晰顯示硬度值和硬度梯度曲線，常用的洛氏、布氏、表面洛氏硬度標(biāo)尺可自動轉(zhuǎn)算，自動統(tǒng)計(jì)測量結(jié)果，電腦軟件上可顯示測量當(dāng)前HV硬度值，最大值、最小值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差等，對被測零件表面幾乎沒有損傷，無損測量，硬度計(jì)使用方便、測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、精準(zhǔn)。
|
型號
|
YZHV-1ZP
|
|
試驗(yàn)力
|
10gf (0.098N)、25gf (0.245N)、50gf (0.49N)、100gf (0.98N )、
200gf (1.96N)、300gf (2.94N)、500gf (4.9N)、1000gf (9.8N)
|
|
加荷方式
|
程控自動加荷（自動加載）,自動保荷，自動卸荷
|
|
保荷時(shí)間
|
0–90s
|
|
硬度測量范圍
|
5–4000HV
|
|
光學(xué)總放大倍率
|
高清物鏡: 40x， 10x， 自動型測微目鏡: 10x
總倍率: 400x（測量）; 100x（觀察和測量）
|
|
最小檢測單位
|
0.01μm
|
|
X-Y測試臺
|
尺寸：100×100mm 最大移動：25×25 mm
最小讀數(shù)：1/100mm
|
|
光路切換
|
雙光通道（測量/攝影切換）
|
|
硬度測量方式
|
用電腦軟件測量，也可用測微目鏡測量（雙功能）
|
|
測量軟件及數(shù)據(jù)輸出
|
顯示：試驗(yàn)力，保荷時(shí)間，D1, D2, HV硬度值，最大值、最小值、平均值，分散度，標(biāo)準(zhǔn)偏差，提供HRA、HRB、HRC、HRD、HRF、HV、HK、HBW、HR15N、HR30N、HR45N、HR15T、HR30T、HR45T等換算值，可輸出壓痕圖像，硬度梯度曲線圖等，可用硬度標(biāo)準(zhǔn)塊對硬度值進(jìn)行精確校準(zhǔn)。
|
|
硬度測量軟件優(yōu)勢
|
*在電腦上，可通過鼠標(biāo)控制試驗(yàn)力自動切換，無需手動切換試驗(yàn)力
*在電腦上，可通過鼠標(biāo)控制壓頭和物鏡自動轉(zhuǎn)塔切換（自動轉(zhuǎn)塔）
*在電腦上，可通過鼠標(biāo)控制光源亮度自由調(diào)節(jié)，自動調(diào)光
*內(nèi)置式500萬像素工業(yè)級高清CCD攝像機(jī)，內(nèi)置式攝像機(jī)，高清晰成像
|
|
被測試件最大高度約
|
90mm
|
|
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)(或參照)
|
中國國家標(biāo)準(zhǔn) GB/T 4340國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 6507 ， ASTM_E92
|
|
壓頭至機(jī)壁距離約
|
130mm
|
|
電源
|
220 VAC, 50/60 Hz
|
|
尺寸
|
約540*260*650mm
|
|
重量
|
約50kg
|
上海奕縱精密YZHV顯微維氏圖像硬度控制測量軟件介紹：
1、本軟件測量系統(tǒng)可和各種維氏/顯微硬度計(jì)相配，計(jì)算機(jī)控制硬度計(jì)，如自動轉(zhuǎn)塔臺、調(diào)亮度，
2、圖像清晰，壓痕通過軟件測量,可以生成硬度層深分布曲線;
3、自動生成測試報(bào)告，可打印輸出報(bào)告，采用測微尺或硬度塊標(biāo)定，可自動標(biāo)定；
4、硬度按國標(biāo)和ASTM轉(zhuǎn)換成其他硬度；硬度值統(tǒng)計(jì)及硬度超出報(bào)警；
5、試驗(yàn)報(bào)告可用戶定制，所有試驗(yàn)數(shù)據(jù)永遠(yuǎn)保存，便于歷史查詢。
6、自動統(tǒng)計(jì)測量的當(dāng)前硬度值、最大值、最小值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差等。
7、<軟件界面如下>：
